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              電子潔凈室有何設計特點?

              更新時間:2021-02-23  |  點擊率:1904

              電子潔凈室的設計特點有如下:
              1、平面由工藝決定,電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
              2、主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。
              3、大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。
              4、應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
              5、電子工業(yè)潔凈室按二級耐火等級設計。
              6、特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5M。
              7、電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
              8、電子工業(yè)潔凈室允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按大班人數(shù)為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數(shù)太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室。
              9、對于高級別潔凈室,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
              10、電子工業(yè)潔凈室常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。
              11、電子工業(yè)潔凈室友有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源。
              12、電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外,對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準。
              電子潔凈室的環(huán)境參數(shù):

              參數(shù)

              數(shù)       值

              說       明

              截面風速/(M/S)

              0.3-0.5

              0.2-0.4

              潔凈度1-3級(ISO)潔凈室

              潔凈度4-5級(ISO)潔凈室

              換氣次數(shù)/(次/H)

              50-60

              15-25

              10-15

              潔凈度6級(ISO)潔凈室

              潔凈度7級(ISO)潔凈室

              潔凈度8-9級(ISO)潔凈室

              靜壓差/Pa

              >5

              >10

              不同等級潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室

              之間潔凈室與室外之羊

              溫度/

              18-22

              16-20

              按具體工程項目要求24-26

              26-28

              按具體工程項目要求

              工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              人員凈化及生活用房

              工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              人員凈化及生活用房

              工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              相對濕度/%

              30-50

              按具體工程項目要求

              50-70

              按具體工程項目要求

              工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境

              新風量/[M3/(人.H)

              40

               

              噪聲/DB(A)

              <65

              單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室

              照度/lX

              300-500

              200-300

              非單向流潔凈室主要生產(chǎn)用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外)

              其它用房

              照度均勻度

              0.7

               

              靜電表面電阻率

              1*105—1*1010

              一級標準為1*105—1*107

              靜電體積電阻率

              1*104-1*109

               

              地面對地的漏泄電阻

              *105-1*108

               

              靜電壓

              <50(45%相對濕度)

              4級(ISO)以上潔凈室

              振動速度

              振動加速度

              振幅

              相對位移量

               

              根據(jù)工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標《隔振設計規(guī)范》

              電磁干擾

               

              4級(ISO)以上潔凈室,當潔凈室靠近高壓輸配電設施時尤為重要




               

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